空気中に含まれている水分量の割合（湿度）を計測してデジタル処理をする場合には、湿度計センサーと呼ばれる電子デバイスが用いられます。これは空気中の水分量を計測してから電気的な信号に変換するための素子で、静電容量式と呼ばれる方式が多く使用されています。一般的に湿度計センサー（検知部）と計測回路は別々のモジュールで構成されていることが多く、両者はケーブルで接続されています。検知部の電子部品が計測回路を構成する基板と一体化した、MEMS湿度計センサーと呼ばれる部品が使用されることがあります。

これは機器の内部に組み込まれる形で使用されるケースが多く、小型で応答速度に優れているという特徴があります。そのため、自動車・モバイル機器・PC・家電製品、などのさまざまな製品に使用されています。MEMS湿度計センサーの特徴ですが、高精度かつ短時間で測定が可能である・大量生産ができる・さまざまな電子機器に組み込みやすい、などが挙げられます。基板に組み込まれている湿度計センサーは静電容量式の素子が使用されていて、サイズが非常に小さいものが使用されています。

このため、急激な湿度の変化が生じてもすぐに反応して正しい値を出力します。基板を大量生産することが可能でデジタル信号が得られることから、電子回路に組み込みやすいというメリットもあります。専用の計測回路を設計する必要がないため、低コストで簡単に電子機器に組み込むことができます。